Filmes finos multicamadas de Fe-Hf, depositados pelo processo de feixe eletrônico, foram tratados termicamente por 1h e 3h, nas temperaturas de 350^oC e 500^oC. As fases formadas por Reação de Estado Sólido em multicamadas com composição total Fe_0.67Hf_0.33 e Fe_0.50Hf_0.50 foram analisadas por Espectroscopia de Retroespalhamento de Rutherford (RBS), Magnetização (VSM) e Espectroscopia Mössbauer (CEMS). Os resultados revelam que a primeira fase a reagir é uma fase amorfa, de composição aproximada 50%at.Fe. Também foi identificada a fase cristalina Fe₂Hf na amostra rica em ferro, tratada na temperatura de 500^oC por 3h. Verificou-se, como já observado para outros sistemas binários Fe-Metal-de-Transição, que a seqüência de fases formadas depende, fundamentalmente, da composição da multicamada como-depositada e da temperatura de tratamento térmico. Um diagrama esquemático de Energia Livre de Gibbs foi proposto de forma a comportar os resultados experimentais.